Titaanist pooljuhtide osad

1. Ultra-madala lisandite vabanemise kontroll

Kasutame keraamiliste tööriistade ja -rauavabade tööriistade töötlemisskeemi kogu tootmisprotsessi vältel. Kõik toorikuga kokkupuutuvad abimaterjalid läbivad kolm happepesutsüklit, jälgides rangelt raua, kroomi jms üldsisalduse 0,02% piires. See väldib täielikult pooljuhtprotsessides levinud metalliioonide saastumise probleemi ja väldib liigsete metallijääkide teket vahvli pinnal. See vähendab materjalipoolse vooluahela lühise ohtu.

 

2. Pikaajaline-korrosioonikindlus

Pärast osa moodustamist läbib see passiveerimiseks kahe erineva kontsentratsiooniga nõrga oksüdeeriva lahuse sukeldamise. Pinnale tekib ühtlane 8-10 nm paksune titaandioksiidi kaitsekile. Isegi kui pooljuhtide puhastusprotsessis puututakse kokku 2000 tunni jooksul pidevalt lahjendatud vesinikfluoriidhappe ja lämmastikhappe segulahustega, ei teki eraldumist ega prahti, mis kriibiks vahvli pinda.

 

3. Suur-mõõtmete stabiilsus

Töötlemise ajal kasutatakse kogu protsessis vedela lämmastiku pihustust püsiva temperatuuri reguleerimiseks, kontrollides töötlemisel tekkivat deformatsiooni 0,003 mm piires. Enne tehasest väljumist läbivad valmistooted 24-tunnised kõrge ja madala temperatuuri tsüklikatsed. Isegi kui töötate pooljuhtprotsessi keskkonnas 180 kraadi juures pikka aega, ei esine deformatsioonihäireid ega deformatsiooni kleepumist. Pole vaja sageli lahti võtta ja joondustäpsust reguleerida.

 

4. Madal heitgaaside kiirus, mis sobib vaakumkeskkonda

Kõik osad allutatakse esmalt 120-kraadisele vaakumküpsetamisele 48 tunniks degaseerimiseks. Pinnale adsorbeerunud veeaur ja pisikesed osakesed eemaldatakse täielikult. Pärast pooljuhtvaakumkambrisse paigaldamist võib see aidata seadmetel saavutada soovitud vaakumtaseme 25% kiiremini kui tavaliste roostevabast terasest osade kasutamisel, vähendades vaakumpumpamise ootamise ajakadu.

1. Vahvlialus PVD aurustamise-sadestamise masinale

Kasutatakse kaetava ränivahvli toetamiseks. Sihtmaterjali pihustuskeskkonnas ei reageeri titaanist osa pihustusgaasiga kõrgel temperatuuril- ja ei lase kambrisse liigseid lisandeid, mis võib parandada vahvli pinnale ladestunud metallkile kihi ühtlust 5% võrra, vältides metallikihi ebapiisava paksuse tõttu tekkiva laastu lekke probleemi. See sobib 28nm ja madalamate protsesside tootmisnõuete katmiseks.

 

2. Vahvlikandur märgpuhastusmasinale

RCA standardpuhastusprotsessis on rack täielikult kastetud tugeva happe ja tugeva leelise puhastuslahustesse. Titaanmaterjal ei korrodeeru ega tekita prahti ega kleepu vahvli pinnale, et tekitada osakeste saastumist. See võib vähendada ühe partii vahvli puhastamise osakeste defekti määra 12% võrra. Samal ajal võib riiuli kergekaalulisus vähendada ka puhastusmasina ülekandekoormust ja seadmete energiatarbimist.

 

3. Elektroodide kinnituspesa ioonide implanteerimismasinale

Kasutatakse kõrge{0}}pingeelektroodide kinnitamiseks masinas. Titaani mitte--magnetiline omadus ei häiri ioonkiire trajektoori, võimaldades ioonide siirdamise sügavuse hälvet reguleerida väga väikeses vahemikus, vältides ebaühtlase süstimisdoosi probleemi vahvli lokaalses piirkonnas. See parandab oluliselt kiibi elektrilise jõudluse järjepidevust.

 

4. Ühendusäärik pooljuhtide vaakumtorustiku jaoks

Masina vaakumtorustiku erinevate sektsioonide ühendamine. Titaani madal väljalaskekiirus võib hoida torujuhtmes kõrge-puhta vaakumkeskkonda ega põhjusta vaakumitaseme kõikumisi, mis on tingitud tavalistest roostevabast terasest äärikutest pärast pikaajalist-kasutamist. See vähendab vaakumihäiretest põhjustatud masina väljalülitamise häirete arvu ja suurendab tootmisliini pidevat tööaega 30%.

1. Mittestandardsete mõõtmete kohandamine-

Tuginedes meie enda 5-teljelisele töötluskeskusele, saab osade pikkust, laiust ja kõrgust reguleerida vastavalt kliendi olemasolevate pooljuhtseadmete paigaldusruumile. Kliendil ei ole vaja seadmete liidest muuta ja esimese proovi saab tarnida 7 päeva jooksul.

 

2. Pinna seisundi kohandamine

Vastavalt soovile saab valida kaks pinnatöötlusmeetodit: peegelpoleerimine ja mattliivapritsiga töötlemine. Need sobivad tootmisprotsessi erinevate puhtusnõuete täitmiseks ja võivad vältida osakeste adhesiooni, mis mõjutab pooljuhtide tootmiskeskkonda.

 

3. Spetsiaalsete liideste kohandamine

Spetsiaalseid struktuure, nagu spetsiaalsed kaardipesad ja positsioneerimisavad, saab kohandada nii, et need vastaksid täielikult kliendi enda väljatöötatud{0}}seadmete koostenõuetele. Adapteri täiendavaid komponente pole vaja lisada.

Üksus	Spetsifikatsioon
Toote nimi	Titaanist pooljuhtide osad
Materjal	Puhas titaan (2. klass), titaanisulam (5. klass Ti-6Al-4V)
Tootmisprotsess	CNC töötlemine, treimine, freesimine, lihvimine, keevitamine
Saadaolevad kujundid	Plaat, rõngas, toru, varras, plokk, kohandatud osad
Mõõtmed	Kohandatud vastavalt joonistele või näidistele
Tolerantsus	Kuni ±0,01 mm
Pinna viimistlus	Poleeritud, liivapritsiga töödeldud, marineeritud, anodeeritud, täppistöödeldud
Pinna karedus	Ra 0,2–1,6 μm (saadaval kohandatud)
Puhtus	Kuni 99,6% (2. klassi titaan)
Töötemperatuur	Kuni 400 kraadi
Tihedus	4,51 g/cm³
Kõvadus	2. klass: HB 145–200; 5. klass: HRC 30–36
Korrosioonikindlus	Suurepärane vastupidavus hapetele, leelistele ja protsessikemikaalidele
Keemiline ühilduvus	Sobib pooljuhtkemikaalide ja üli{0}}kõrge puhtusastmega keskkondade jaoks
Ülevaatus	Mõõtmete ülevaatus, materjali sertifitseerimine, pinnakontroll

 

 

 

Kuum tags: titaanist osad pooljuhtidele, Hiina titaanist osad pooljuhtide tootjatele, tarnijatele, tehastele